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半導體檢測設(shè)備
TGV 玻璃基板AOI檢測

產(chǎn)品介紹:

針對TGV玻璃基板內(nèi)部大量高密度微孔是否存在不良的檢測需求,通過設(shè)計專用的光學檢測系統(tǒng)和缺陷智能檢測AI分類算法,結(jié)合高精度和高速度的大理石移動平臺,智能判定各類缺陷,并提取分類,有效解決TGV玻璃基板在制造過程中質(zhì)量控制的痛點。


產(chǎn)品介紹:

1.檢測速度0.25sec/FOV,2D檢測分辨率可達1um/Pixel;

2.主要檢測TGV微孔的孔徑大小, 通孔有無,通斷、裂紋、漏點以及不通、孔內(nèi)異物、玻璃渣、臟污、劃痕、盲孔、 崩邊,裂紋,表面Particle等缺陷,以及通孔中心孔徑,通孔圓度。
3.兼容產(chǎn)品尺寸范圍:510mm*510mm,支持定制;
4.模塊化光路密封設(shè)計,高穩(wěn)定性光路傳輸結(jié)構(gòu);
5.優(yōu)異的失量圖形讀取處理能力,瞬間處理超大圖形;
6.基于自研AI的缺陷自動檢測與分類算法,自動輸出缺陷類別、坐標、尺寸;
7.數(shù)據(jù)可追溯,強大的SPC分析及預(yù)警。



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